講演会のお知らせ (12/19:木村 滋 氏((公財)高輝度光科学研究センター 回折・散乱推進室 室長))
2019年12月16日
講演題目:放射光ナノビームX線回折による薄膜・ナノ構造の評価
講師:木村 滋 氏((公財)高輝度光科学研究センター 回折・散乱推進室 室長)
日時:12月19日(木)16:20
場所:コラボレーション棟3階 コラボレーション室
要旨:
SPring-8のような第三世代放射光源は光源サイズが小さいため,マイクロ/ナノビーム形成に有利である。そのため,最近では多様な放射光測定がマイクロ/ナノビームで行われるようになってきた。
我々もX線回折をナノビームで行うために位相ゾーンプレートをX線集光素子として利用するナノビームX線回折装置の開発を続けており,現状では100 nm程度までのビームが利用可能となっている。
本講演では,SPring-8のBL13XUで開発してきた放射光ナノビームX線回折装置の特長と利用実験例を紹介するとともに,今後の応用展開についても展望したい。
世話人 池田 直(内線7810)